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  2026-04-07   星期二

消息称三星电子为平泽 P5 晶圆厂 PH1 阶段下达 70 余台光刻机订单

据报道，三星电子已为平泽半导体生产基地 P5 晶圆厂集群的首个阶段 PH1 订购了 70 余台光刻机，为该阶段 2027 年的投运做好准备。平泽 P5 PH1 所需的这些光刻机来自 ASML 和佳能，其中约 20 台为 ASML 的 EUV 曝光系统。P5 PH1 将用于 1c nm 制程 DRAM 生产，将同时制造通用内存和 HBM。

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